发明名称 CHEMICAL AMPLIFICATION TYPE POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR100638368(B1) 申请公布日期 2006.10.25
申请号 KR20000002059 申请日期 2000.01.17
申请人 发明人
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
地址