液滴喷头的功能液填充方法及其装置、液滴喷出装置、电光学装置、电光学装置的制造方法和电子设备

摘要

提供一种液滴喷头的功能液填充方法，其将功能液填充在液滴喷头的喷头内部流路中，包括通过加压输送功能液来填充液滴喷头的喷头内部流路的加压送液工序和在加压送液工序之后，从液滴喷头的喷嘴吸引功能液的吸引工序，加压送液工序中的各部分的功能液流速相对低于吸引工序中的流速。该方法可以有效排出喷头内部流路的气泡，可以向液滴喷头可靠填充功能液。

主权项

1、一种液滴喷头的功能液填充方法，是把功能液填充在液滴喷头的喷头内部流路的液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于：包括通过加压输送功能液来填充上述液滴喷头的喷头内部流路的加压送液工序；和上述加压送液工序之后，从上述液滴喷头的喷嘴吸引功能液的吸引工序，上述加压送液工序中的各部分的功能液流速相对低于上述吸引工序中的流速。