基于微机械系统的非热式流速流向传感器

摘要

基于微机械系统的非热式流速流向传感器是一种利用微机械系统加工的，含有支撑梁和阻流体的电容式流速流向传感器，该传感器在衬底(7)上设有阻流体(2)，在阻流体(2)的圆心设有一个固定在衬底(7)上的支柱(1)，支柱(1)与阻流体(2)的内圆周之间由多根各向同性阻尼支撑梁(8)连接；阻流体(2)由两个同心的圆环构成，两个同心的圆环之间由四块连接板(21)连接并将两个同心的圆环之间的环形空间分为四个子空间，第一正交固定电极(3)、第二正交固定电极(4)、第三正交固定电极(5)、第四正交固定电极(6)分别位于两个同心的圆环之间的四个子空间里。该传感器具有可测量二维风向、功耗小、响应快、温漂小和可靠性好等优点。

主权项

1.一种基于微机械系统的非热式流速流向传感器，其特征在于该传感器由数根能提供各向同性阻尼支撑梁(8)、梁上支撑的竖直的阻流体(2)、正交设置的竖直电极以及固定衬底(7)和引线构成；在衬底(7)上设有阻流体(2)，在阻流体(2)的圆心设有一个固定在衬底(7)上的支柱(1)，支柱(1)与阻流体(2)的内圆周之间由多根各向同性阻尼支撑梁(8)连接；阻流体(2)由两个同心的圆环构成，两个同心的圆环之间由四块连接板(21)连接并将两个同心的圆环之间的环形空间分为四个子空间，第一正交固定电极(3)、第二正交固定电极(4)、第三正交固定电极(5)、第四正交固定电极(6)分别位于两个同心的圆环之间的四个子空间里。