| 发明名称 | 一种质量流量控制器在线校验的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及微电子技术领域。本发明公开的一种质量流量控制器在线校验的方法，包括：1)读取MFC校准前吹扫次数参数，吹扫将要测试的气体管路，并对反应室抽真空；2)打开正在测试的气体管路阀门，通入反应室，设定质量流量控制器(MFC)流量；3)等气体流量稳定之后，关闭摆阀，通过真空规(CM1)来测量整个反应室在一定时间内的压升率；4)通过压升率计算得到质量流量控制器(MFC)的流量。 | ||
| 申请公布号 | CN1851596A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126345.2 | 申请日期 | 2005.12.07 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 南建辉 |
| 分类号 | G05B23/02(2006.01);G05D7/06(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G05B23/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王常风 |
| 主权项 | 1、一种质量流量控制器在线校验的方法，其特征在于包括以下步骤：1)读取MFC校准前吹扫次数参数，吹扫将要测试的气体管路，并对反应室(2)抽真空；2)打开正在测试的气体管路阀门，通入反应室(2)，设定质量流量控制器(MFC)流量；3)等气体流量稳定之后，关闭摆阀(7)，通过真空规(CM1)来测量整个反应室(2)在一定时间内的压升率；4)通过压升率计算得到质量流量控制器(MFC)的流量。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||