| 发明名称 | 一种等离子体反应室控制系统组装箱 | ||
| 摘要 | 本发明涉及自动化的设备，具体涉及一种等离子体反应室的控制系统组装箱。本发明的一种等离子体反应室控制系统组装箱，包括工控机背板、信号分配背板，其特征在于：还包括PCB(印刷电路板)、机箱，工控机背板、信号分配背板置于机箱内，通过PCB板连接。本发明改变电缆连接方式为直接由PCB板连接的方式，使得等离子体反应室控制系统结构体积更小，连接方式更具有可靠性，传输信号更稳定，减少了出故障的几率。 | ||
| 申请公布号 | CN1852627A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126338.2 | 申请日期 | 2005.12.07 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 孙岩 |
| 分类号 | H05H1/00(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H05H1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王常风 |
| 主权项 | 1、一种等离子体反应室控制系统组装箱，包括工控机背板、信号分配背板，其特征在于：还包括PCB(印刷电路板)、机箱，工控机背板、信号分配背板置于机箱内，通过PCB板连接。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||