| 发明名称 | 进气喷嘴 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种气体喷嘴。本发明进气喷嘴包括具有进气孔的喷嘴本体，其中所述喷嘴本体的下端部设有与进气孔连通的中心孔和呈放射状均匀分布的若干个圆周孔。本发明的进气喷嘴的优点和积极效果在于：当刻蚀气体经过喷嘴本体下端部时，由中心孔和若干个圆周孔对气体进行了分流，由中心孔进入反应室内的气体直接喷向反应室底壁位置，而由圆周孔进入反应室内的气体趋于沿着窗体内表面向四周扩散，从而减少了直接撞击反应腔室底壁的气体量，使反应腔室内部分的气体密度与四周部分的气体密度趋于相同，大幅度提高了反应腔室内气体的均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN1850349A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126347.1 | 申请日期 | 2005.12.07 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 管长乐 |
| 分类号 | B05B1/14(2006.01);C23C16/513(2006.01);C23F4/04(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | B05B1/14(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王常风 |
| 主权项 | 1.进气喷嘴，包括具有中央进气孔(10)的喷嘴本体(13)，其特征在于所述喷嘴本体(13)的下端部设有与中央进气孔(10)连通的中心孔(11)和呈放射状均匀分布的若干个圆周孔(12)。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||