静电卡盘

摘要

一种静电卡盘，包括绝缘层和基座，其特征在于，在绝缘层上设有圆形通路和位于圆形通路内并与之相连的气体通路网，所述气体通路网包括若干条对称布置的直径通路和若干个对称布置的等边三角形通路，且组成三角形通路的三个分通路与直径通路中相互平行的通路之间的距离相等，在圆形通路的中心设置有中心气孔。所述通路网与圆形通路的交接处设有外缘气孔。本发明的气体通路有效地增加了边缘部分的气体的流通，来确保晶片边缘的温度可以足够的降低，实现晶片在整个平面内达到温度均匀，多气孔的结构使气体更快地扩散，提高了效率，又提高了温度的均匀性。

主权项

1、一种静电卡盘，包括绝缘层和基座，其特征在于，在绝缘层上设有圆形通路(3)和位于圆形通路(3)内并与之相连的气体通路网(2)，所述气体通路网(2)包括若干条对称布置的直径通路和若干个对称布置的等边三角形通路，且组成三角形通路的三个分通路与直径通路中相互平行的通路之间的距离相等，在圆形通路(3)的中心设置有中心气孔(4)。