发明名称
摘要
申请公布号 JP3836697(B2) 申请公布日期 2006.10.25
申请号 JP20010267299 申请日期 2001.09.04
申请人 发明人
分类号 C23C16/34;H01L29/812;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/331;H01L21/335;H01L21/338;H01L29/20;H01L29/201;H01L29/205;H01L29/737;H01L29/778 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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