可分开式调制器

摘要

本发明揭示一种可分开式调制器架构。所述调制器具有一在一空腔上方悬挂于一挠性层上的反射镜。所述挠性层还形成所述反射镜的支撑件及支撑柱。一替代的可分开式调制器架构具有一悬挂于一空腔上方的反射镜。所述调制器由支撑件及支撑柱来支撑。所述支撑柱包括一位于支撑柱插塞上方的挠性层。一总线结构可形成于设置在所述支撑柱上方的所述挠性层上。

主权项

1、一种光调制器，其包括：一具有第一和第二表面的反射镜，其悬挂在一设置在所述第一表面下面的空腔上方；固定至所述反射镜的所述第二表面的支撑件；通过所述支撑件将所述反射镜悬挂于所述空腔上方的支撑柱，所述支撑柱及支撑件由一相同的材料层形成；及一电极及一光学堆叠，其从所述反射镜跨过所述空腔与所述第一表面相对地定位，以使所述电极的启动使所述反射镜朝所述电极移动，从而改变所述空腔的尺寸和干涉性质。