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发明名称
Gas flow path control type baffle for processing chamber of FPD manufacturing machine
摘要
申请公布号
KR100638060(B1)
申请公布日期
2006.10.25
申请号
KR20040044856
申请日期
2004.06.17
申请人
发明人
分类号
G02F1/13
主分类号
G02F1/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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