发明名称 FERROELECTRIC THIN FILM CAPACITOR AND THE MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100637770(B1) 申请公布日期 2006.10.25
申请号 KR20040057145 申请日期 2004.07.22
申请人 发明人
分类号 H01L27/115;H01L21/8247 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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