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发明名称 Method of forming a silcon body
摘要
申请公布号 EP1271628(B1) 申请公布日期 2006.10.25
申请号 EP20020012665 申请日期 2002.06.07
申请人 ATMEL GERMANY GMBH 发明人 BROMBERGER, CHRISTOPH;DIETZ, FRANZ;DUDEK, VOLKER, DR.;GRAF, MICHAEL, DR.;HERRFURTH, J.;KLAUSSNER, MANFRED
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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