| 发明名称 | 一种设备报警与互锁处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种设备报警与互锁处理方法，A.将系统中的所有互锁赋予统一的互锁识别号和所有报警赋予统一的报警识别号；B.建立系统中唯一的互锁－报警映射关系；C.查询来自于系统工作流程的互锁条件是否满足；D.当互锁条件满足时，通过互锁－报警映射关系查询与该互锁识别号相对应的报警识别号并抛出该报警，进行相应的报警处理；E.等待报警处理的过程完成并返回系统工作流程等步骤。应用本发明的方法，可以有效地提高半导体工艺处理设备的控制软件在处理互锁以及报警方面的效率，极大程度地提升软件系统的可维护性并方便系统的升级与更新，提高系统的可维护性，方便软件的升级与更新。 | ||
| 申请公布号 | CN1851593A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126296.2 | 申请日期 | 2005.12.05 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 史亚巍 |
| 分类号 | G05B23/00(2006.01);H01L21/66(2006.01);G05B19/418(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | G05B23/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 向华 |
| 主权项 | 1、一种设备报警与互锁处理方法，其特征在于，包括以下步骤A.将系统中的所有互锁赋予统一的互锁识别号，将所有报警赋予统一的报警识别号；B.建立系统中唯一的互锁—报警映射关系；C.查询来自于系统工作流程的互锁条件是否满足；D.当互锁条件满足时，通过互锁—报警映射关系查询与该互锁识别号相对应的报警识别号并抛出该报警，进行相应的报警处理；E.等待报警处理的过程完成并返回系统工作流程。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||