| 发明名称 | 一种静电卡盘 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种半导体加工用的静电卡盘，包括基座和绝缘层，绝缘层用粘接剂粘接在基座上，绝缘层下端部设有圆形凹槽，凹槽的直径与基座连接面直径相同，深度为一层粘接剂所需的尺度，粘接剂涂于所述圆形凹槽内，绝缘层下端粘接的基座表面直径比绝缘层直径小。本发明的静电卡盘粘接剂避开了等离子体可到达的范围，被牢牢地锁在了绝缘层和基座上，不会受到等离子体的侵蚀，充分保障了工艺的稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN1851896A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126303.9 | 申请日期 | 2005.12.05 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 吉美爱 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01) | 主分类号 | H01L21/687(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 练光东 |
| 主权项 | 1、一种静电卡盘，包括基座和绝缘层，绝缘层用粘接剂粘接在基座上，其特征在于，绝缘层下端部设有圆形凹槽，凹槽的直径与基座连接面直径相同，深度为一层粘接剂所需的尺度，粘接剂涂于所述圆形凹槽内。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||