| 发明名称 | 液晶显示器用基板的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种可改善半导体层及绝缘层刻蚀倾斜角的液晶显示器用基板的制作方法，主要利用一含有氟硫化合物的刻蚀气体刻蚀绝缘层，使绝缘层形成良好的刻蚀倾斜角，并且使半导体层有一侧向刻蚀的效果，以提高后续制程的阶梯覆盖性。本发明亦可制作含有阻障层、半导体层、及绝缘层等多层结构的薄膜晶体管，且不会发生因膜层过多而造成膜层剥离、断线、崩毁等现象。此外，本发明制作方法还可整合各膜层制程以减少光罩数目，而达到简化制程与降低制作成本的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN1851906A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200610085010.5 | 申请日期 | 2006.05.30 |
| 申请人 | 广辉电子股份有限公司 | 发明人 | 詹勋昌;李佳宗;郭可欣 |
| 分类号 | H01L21/84(2006.01);H01L21/311(2006.01);G02F1/136(2006.01) | 主分类号 | H01L21/84(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 何春兰 |
| 主权项 | 1.一种液晶显示器用基板的制作方法，包括以下步骤：(a)提供一基板；(b)形成一图案化的第一金属层于该基板表面；(c)依序连续形成一第一绝缘层、一半导体层、以及一阻障层于该基板表面与该第一金属层表面，并利用一光罩对该阻障层与该半导体层图案化，以形成多个晶体管开关岛区；(d)利用一含有氟硫化合物的刻蚀气体以刻蚀该第一绝缘层，并使该第一绝缘层形成一倾斜角且对该半导体层有侧向刻蚀效果，其中该倾斜角是介于10°至70°；(e)依序连续形成一透明导电层、以及一第二金属层于该等晶体管开关岛区表面与该基板表面；以及(f)于每一该晶体管开关岛区形成一源极与一漏极，其中该源极与该漏极各包含该第二金属层，且彼此不连接。 | ||
| 地址 | 台湾省桃园县 | ||