发明名称 |
一种新型质量流量控制器在线校验设备 |
摘要 |
本发明涉及微电子技术领域,具体涉及用于半导体设备气路系统中MFC(质量流量控制器)的在线校验。本发明公开的一种新型质量流量控制器在线校验设备,包括:温度传感器、真空规,气路盒及与其连接的质量流量控制器,干泵,还包括:腔室、常闭入口阀、常闭出口阀及其控制装置,其中,常闭入口阀、常闭出口阀与腔室连接。 |
申请公布号 |
CN1851595A |
申请公布日期 |
2006.10.25 |
申请号 |
CN200510126343.3 |
申请日期 |
2005.12.07 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
南建辉 |
分类号 |
G05B23/02(2006.01);G05D7/06(2006.01) |
主分类号 |
G05B23/02(2006.01) |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王常风 |
主权项 |
1、一种新型质量流量控制器在线校验设备,包括温度传感器(8)、真空规(CM1),气路盒(1)及与其连接的质量流量控制器(MFC),干泵(6),其特征在于包括:腔室(2)、常闭入口阀(9)、常闭出口阀(10)及其控制装置,其中,常闭入口阀(9)、常闭出口阀(10)与腔室(2)连接。 |
地址 |
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |