| 发明名称 | 用于半导体设备的下电极组件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及微电子技术领域，具体地涉及一种下电极组件。本发明公开的一种用于半导体设备的下电极组件，包括静电卡盘、卡盘基座、下电极，阴极内衬，阴极内衬设有法兰边，还包括卡盘支架、螺钉掩盖和下电极护罩，其中，卡盘支架置于卡盘基座内，螺钉掩盖套与阴极内衬的法兰边上表面配合，下电极护罩套装在下电极外面，所述的下电极护罩为分体结构，分为下电极护罩上部分、下电极护罩下部分。本发明的结构能大大减小下电极护罩加工制造以及装配的难度，同时，使下电极的维护变得更加方便。 | ||
| 申请公布号 | CN1851860A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126388.0 | 申请日期 | 2005.12.08 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 国欣 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/683(2006.01);H05H1/00(2006.01);C23C14/00(2006.01);C23C16/00(2006.01);C23F4/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蔡世英 |
| 主权项 | 1、一种用于半导体设备的下电极组件，包括静电卡盘(2)、卡盘基座(5)、下电极，阴极内衬(6)、以及内部的阴极内衬，阴极内衬(6)设有法兰边，其特征在于：还包括卡盘支架(4)、螺钉掩盖(7)和下电极护罩(8)，其中，卡盘支架(4)置于卡盘基座(5)内，螺钉掩盖套(7)与阴极内衬(6)的法兰边上表面配合，下电极护罩(8)套装在下电极外面，所述的下电极护罩(8)为分体结构，分为下电极护罩上部分(10)、下电极护罩下部分(11)。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||