等离子体产生设备和方法以及具有可调占空因数的射频驱动电路

摘要

公开了作为用于产生高密度等离子体的方法和系统的一部分的射频驱动电路和正交天线装置/配置。该天线装置是可由具有适当阻抗匹配、以提供低阻抗的射频发生器/电路驱动的正交天线系统，公开的射频驱动电路使用开关型放大器元件，并提供低输出阻抗。公开的低输出阻抗射频驱动电路消除了对用于和与等离子体相关联的固有阻抗变化连接的匹配电路的需要。还公开了为射频等离子体源提供调谐的电容或电感值的选择。还提供了用于以大约数十Hz到高达数百KHz的频率在两个或多个功率电平之间快速切换等离子体的方法。

主权项

1.一种使等离子体源消除对于匹配电路的需要的方法，所述方法包括步骤：为射频电源提供低输出阻抗；选择将所述射频电源耦合到至少一组天线回路的电容，以使没有等离子体情况下的所述电容和所述天线回路具有大约等于所述等离子体的特定频率的谐振频率；以及通过调制占空因数来控制平均输入功率，以操作所述射频电源。