用容性测量检测不可访问的插针上的短路的方法和装置

摘要

本发明是一种使用容性耦合技术诊断集成电路器件的不可访问节点或非接触节点上的短路缺陷的方法和装置。根据本发明，交流(AC)信号发生器被连接，以向被测IC器件的可访问节点施加交流(AC)信号。优选地，被测IC器件的所有余下可访问节点接地。容性传感探测器的传感器板以信号耦合方式放置在集成电路器件上的感兴趣的不可访问节点的附近。如果在感兴趣的不可访问节点上存在信号，则其容性耦合到探测器的传感器板。测量设备通过容性传感探测器获得代表容性耦合到传感器板的电流量的测量值。基于测量值和/或从测量值导出的参数，可以推断被激励可访问节点和不可访问节点之间可能的短路缺陷的存在。

主权项

1.一种用于诊断集成电路器件的节点之间的短路缺陷的方法，包括以下步骤：向所述集成电路器件的第一可访问节点施加交流信号；将容性传感探测器的传感器板以信号耦合方式至少放置在所述集成电路器件的第二非接地节点的附近，这会将所述第二非接地节点上存在的信号耦合到所述传感器板，如果所述信号存在的话；使所述集成电路器件的任何余下可访问节点接地；通过容性传感探测器获得代表容性耦合到所述传感器板的电流量的测量值；以及基于所述测量值和/或从所述测量值导出的参数确定所述第一节点和所述第二节点之间可能的短路缺陷的存在。