| 发明名称 | 一种去除附着于石英零件表面聚合物薄膜的清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种去除附着于石英零件表面聚合物薄膜的清洗方法，它包括下列步骤：化学液浸泡、粗洗和精洗。本发明所述的清洗方法操作简单，耗时少，清洗效果理想，对石英损伤小。 | ||
| 申请公布号 | CN1850361A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126270.8 | 申请日期 | 2005.12.02 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 陶林 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01);B08B3/12(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/3065(2006.01) | 主分类号 | B08B3/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 练光东 |
| 主权项 | 1、一种去除附着于石英零件表面聚合物薄膜的清洗方法，它包括下列步骤：a.化学液浸泡；b.粗洗；c.精洗。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||