Modulador separável

摘要

"MODULADOR SEPARáVEL. Descreve-se uma arquitetura de modulador separável. O modulador tem um espelho suspenso de uma camada flexível sobre uma cavidade. A camada flexível também forma suportes e colunas de sustentação para o espelho. Uma arquitetura de modulador separável alternativa tem um espelho suspenso sobre uma cavidade. O modulador é sustentado por suportes e colunas de sustentação. As colunas de sustentação compreendem uma camada flexível sobre tampões de coluna de sustentação. Uma estrutura de barramento pode ser formada sobre a camada flexível disposta sobre as colunas de sustentação.