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发明名称 Pressure control valve using Teflon
摘要
申请公布号 KR100637356(B1) 申请公布日期 2006.10.23
申请号 KR20050015732 申请日期 2005.02.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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