发明名称 Method of forming of storage node electrode
摘要
申请公布号 KR100636675(B1) 申请公布日期 2006.10.23
申请号 KR20050001331 申请日期 2005.01.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L21/306;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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