| 主权项 |
1.一种间隙侦测及补正装置,其包含:一支撑座,其用以承载一板材;一侦测单元,其设有数个侦测元件,每个该侦测元件系对应于该板材之一特定部位,以便侦测每个该侦测单元及板材之特定部位之间的相对距离;一升降单元,其系根据该侦测单元之侦测结果带动该支撑座上升及下降;一光罩座,其系用以支撑一光罩,以便该光罩对应于该支撑座上之板材;及一调距单元,其系根据该侦测单元之侦测结果驱动该光罩座进行高度补正,以调整该光罩及板材之相对距离。2.依申请专利范围第1项所述之间隙侦测及补正装置,其中该侦测单元之数个侦测元件系分别对应于该板材之一中心部位及数个角隅。3.依申请专利范围第1项所述之间隙侦测及补正装置,其中该侦测单元之侦测元件系选自光学测距装置。4.依申请专利范围第3项所述之间隙侦测及补正装置,其中该侦测单元之侦测元件系选自雷射测距装置。5.依申请专利范围第2项所述之间隙侦测及补正装置,其中该升降单元系根据该板材之中心部位的侦测结果带动该支撑座进行高度调整。6.依申请专利范围第2项所述之间隙侦测及补正装置,其中该升降单元系根据该板材之中心部位及数个角隅之侦测结果的平均値带动该支撑座进行高度调整。7.依申请专利范围第2项所述之间隙侦测及补正装置,其中该调距单元具有数个驱动元件及数个微调元件,且该驱动元件及微调元件系对应于该光罩座之数个角隅,该驱动元件系藉由该微调元件分别带动该光罩座之数个角隅进行高度补正。8.依申请专利范围第7项所述之间隙侦测及补正装置,其中该驱动元件系选自驱动马达,该微调元件系选自螺杆。9.依申请专利范围第2项所述之间隙侦测及补正装置,其中该调距单元系以该板材之中心部位的侦测结果为基准,以分别带动该光罩座之数个角隅进行高度补正。10.依申请专利范围第1项所述之间隙侦测及补正装置,其包含一投料阶段操作处、一板材补正阶段操作处及一光罩对位阶段操作处。11.依申请专利范围第10项所述之间隙侦测及补正装置,其中该支撑座系带动该板材在投料阶段操作处、板材补正阶段操作处及光罩对位阶段操作处之间移动。12.依申请专利范围第1项所述之间隙侦测及补正装置,其中该支撑座系选自吸附装置。13.依申请专利范围第12项所述之间隙侦测及补正装置,其中该吸附装置设有一真空吸盘座,该真空吸盘座之表面开设数个吸附孔,且该真空吸盘座连接一吸风装置,以便经由该吸附孔吸附定位该板材。图式简单说明:第1图:习用间隙侦测及补正装置之立体图。第2图:习用间隙侦测及补正装置之局部剖视图。第3图:本创作较佳实施例之间隙侦测及补正装置之立体示意图。第4图:本创作较佳实施例之间隙侦测及补正装置之投料阶段之侧视示意图。第5图:本创作较佳实施例之间隙侦测及补正装置之板材补正阶段之侧视示意图。第6图:本创作较佳实施例之间隙侦测及补正装置之光罩对位阶段之侧视示意图。 |
