显影液再生装置

摘要

【课题】提供一种显影液再生装置，藉将感光性有机树脂用硷系显影液的光阻浓度及硷浓度，自动控制在既定的浓度，既可保持显影性能的一定性，又可大幅地缩短操作停止时间，并降低整体制造成本。【解决手段】一种显影液再生装置，其特征在于，具备：第1光阻浓度测定机构5，系用以测定显影废液之光阻浓度；第1废弃机构7,61，系将依据第1光阻浓度测定机构5的测定结果之比例程度的显影废液加以废弃；第1补给机构9,71，系用以补给硷系显影新液或纯水(依据第1废弃机构7,61所废弃的显影废液的量)；第1硷浓度测定机构22，系用以测定显影液(由第1补给机构9,71之补给结果所得者)之硷浓度；以及，第2补给机构16,72，系用以补给硷系显影原液(依据第1硷浓度测定机构22的测定结果之量)。

主权项

1.一种显影液再生装置,其特征在于,具备:第1光阻浓度测定机构,系用以测定感光性有机树脂用硷系显影废液之光阻浓度;第1废弃机构,系依据第1光阻浓度测定机构的测定结果将既定比例的前述显影废液加以废弃;第1补给机构,系依据第1废弃机构所废弃的显影废液之量来补给硷系显影新液或纯水;第1硷浓度测定机构,系用以测定显影液(由第1补给机构之补给结果所得者)之硷浓度;以及第2补给机构,系依据第1硷浓度测定机构的测定结果来补给硷系显影原液。2.一种显影液再生装置,其特征在于,具备:错流(cross flow)式第1膜分离机构,系用以对感光性有机树脂用硷系显影废液进行膜分离;第1供给机构,系将前述显影废液供给于第1膜分离机构;错流式第2膜分离机构,系进一步对第1透过液(由前述第1膜分离机构的膜分离结果所得者)进行膜分离;第2供给机构,系将前述第1透过液供给于第2膜分离机构;第1回流机构,系将第1非透过液(由前述第1膜分离机构的膜分离结果所得者)回流至显影废液(由第1供给机构所供给者);第2光阻浓度测定机构,系用以测定第1非透过液(藉第1回流机构所回流前者)、或回流后的显影废液的光阻浓度;以及第2废弃机构,系依据第2光阻浓度测定机构的测定结果,将前述第1非透过液、或回流后的显影废液加以废弃。3.如申请专利范围第2项之显影液再生装置,系具备第2回流机构,该第2回流机构系将第2非透过液(由第2膜分离机构的膜分离结果所得者)回流至显影废液(由第1供给机构所供给者)。4.如申请专利范围第2项之显影液再生装置,系具备:第3回流机构,系将第2非透过液(由第2膜分离机构的膜分离结果所得者)回流至第1透过液(由第2供给机构所供给);第2光阻浓度测定机构,系用以测定藉第3回流机构所回流前之第2非透过液或回流后的第1透过液中的光阻浓度;以及第2废弃机构,系依据第2光阻浓度测定机构的测定结果,将前述第2非透过液、或回流后的第1透过液加以废弃。5.如申请专利范围第2-4项中任一项之显影液再生装置,系具备:第2硷浓度测定机构,系用以测定第2透过液(由第2膜分离机构的膜分离结果所得者)的硷浓度;以及第3补给机构,系依据第2硷浓度测定机构之测定结果来补给硷系显影新液或硷系显影原液。6.如申请专利范围第5项之显影液再生装置,其中,由第3补给机构所补给的液体系硷系显影原液。图式简单说明:图1系本发明的一实施例的显影液再生设备的概略流程图。图2系本发明的其他实施例(第2实施例)的显影液再生设备的概略流程图。图3系本发明的别的实施例(第3实施例)的显影液再生设备的概略流程图。图4系本发明的别的实施例(第4实施例)的显影液再生设备的概略流程图。