| 主权项 |
1.一种用以制造供一液体吐出元件用之液体吐出 元件基材的制造方法,该液体吐出元件用以经由一 吐出出口吐出液体,该液体吐出元件基材包括用以 产生能量供吐出该液体的一能量产生元件、和用 以供给电力于该能量产生元件的一电极,该方法包 含: 在该基材的一前侧形成一能量产生元件和电性连 接于该能量产生元件之导线的一步骤; 在该基材之该侧上形成该导线的位置形成槽状凹 部的一步骤; 藉由填注电极材料于该凹部内,形成电性连接于该 导线之嵌入电极的一步骤;和 在形成该嵌入电极之后,于一后侧使该基材变薄, 以在该基材的该后侧暴露该嵌入电极的步骤,因此 提供暴露在该基材之该后侧的一电极。 2.如申请专利范围第1项所述用以制造供一液体吐 出元件用之液体吐出元件基材的制造方法,其中在 该变薄的步骤之后,该基材具有50微米至300微米的 厚度。 3.如申请专利范围第1项所述用以制造供一液体吐 出元件用之液体吐出元件基材的制造方法,更包含 在该变薄步骤之前,在该基材之该侧上形成不同于 该凹部的一第二凹部的步骤,其中,在使该基材变 薄的该步骤之中,该第二凹部从该基材的前侧贯穿 到该后侧,因此在该基材内提供用以供给待吐出液 体的供给埠。 4.一种用以制造一液体吐出元件的制造方法,该液 体吐出元件包括一液体流动路径、一能量产生构 件、和一电极;该液体流动路径连通于用以吐出液 体的一吐出出口;该能量产生构件用以产生能量, 该能量可用于从液体流动路径经由该吐出出口吐 出该液体;该电极用以供给电力于该能量产生元件 ;该制造方法包含: 在该基材的一前侧形成一能量产生元件和电性连 接于该能量产生元件的一步骤; 在该基材之该侧上形成该导线的位置形成槽状凹 部的一步骤; 藉由填注电极材料于该凹部内,形成电性连接于该 导线之嵌入电极的一步骤; 在形成该嵌入电极之后,于一后侧使该基材变薄, 以在该基材的该后侧暴露该嵌入电极的步骤,因此 提供暴露在该基材之该后侧的一电极;和 在该基材的该侧上提供一顶板构件的步骤,该顶板 形成该吐出出口和该液体流动路径,该能量产生元 件和该导线已形成在基材上。 5.如申请专利范围第4项所述用以制造一液体吐出 元件的制造方法,其中在该变薄步骤之后,才实施 该提供顶板构件的步骤。 6.如申请专利范围第5项所述用以制造一液体吐出 元件的制造方法,其中该提供顶板构件的步骤包括 将一树脂薄膜结合于该基材之该侧上的一步骤,该 液体流动路径和该吐出出口已经形成在该树脂薄 膜内。 7.如申请专利范围第6项所述用以制造一液体吐出 元件的制造方法,更包含在该变薄步骤之前,在该 基材之该侧上形成不同于该凹部的一第二凹部的 步骤,其中,在使该基材变薄的该步骤之中,该第二 凹部从该基材的前侧贯穿到该后侧,因此在该基材 内提供用以供给待吐出液体的供给埠。 8.如申请专利范围第4项所述用以制造一液体吐出 元件的制造方法,其中该提供顶板构件的步骤包括 :在待形成该液体流动路径的位置形成抗蚀剂的一 步骤;藉由在抗蚀剂上施用光敏树脂材料,并将光 敏树脂材料曝光和显影,而在该光敏树脂材料中形 成该吐出出口的一步骤;和在该形成吐出出口的步 骤之后,藉由移除该抗蚀剂而形成该液体流动路径 的一步骤。 9.如申请专利范围第8项所述用以制造一液体吐出 元件的制造方法,更包含在该形成抗蚀剂的步骤之 后,形成一供给埠的一步骤,该供给埠贯穿该基材, 用以从该基材的该后侧供给待吐出液体于该液体 流动路径。 10.一种用于一液体吐出元件的液体吐出元件基材, 该液体吐出元件用以经由一吐出出口吐出液体,该 液体吐出元件基材包括用以产生能量供吐出液体 的一能量产生元件、和用以供给电力于该能量产 生元件的一电极,该液体吐出元件基材包含: 一基材; 一能量产生元件和电性连接于该能量产生元件的 导线,该能量产生元件和该导线是形成在该基材的 一前侧上; 一贯穿式电极,电性连接于该导线,且从形成该导 线之位置的前侧,贯穿该基材至后侧; 其中,藉由在该基材的该前侧形成一嵌入电极电性 连接于该导线,然后从该后侧使该基材变薄,以在 该基材的该后侧暴露该嵌入电极,而形成该贯穿式 电极。 11.一种液体吐出元件,包括一液体流动路径、一能 量产生构件、和一电极;该液体流动路径连通于用 以吐出液体的一吐出出口;该能量产生构件用以产 生能量,该能量可用于从液体流动路径经由该吐出 出口吐出该液体;该电极用以供给电力于该能量产 生元件;该液体吐出元件包含: 一液体吐出元件基材,其具有在该基材前侧的一能 量产生元件、和电性连接于该能量产生元件的导 线; 一顶板构件,设于该前侧上,该顶板构件具有一液 体流动路径和形成于其内的该吐出出口; 其中,藉由形成一嵌入电极电性连接于该导线,然 后从后侧使该基材变薄,以在该基材的该后侧暴露 该嵌入电极,使该液体吐出元件基材在该基材的该 前侧,具有一贯穿式电极。 12.一种喷墨头,包含: 一液体流动路径,连通于用以吐出液体的一吐出出 口; 一能量产生构件,用以产生能量,该能量可用于从 液体流动路径经由该吐出出口吐出该液体; 一电极,用以供给电力于该能量产生元件; 该喷墨头包含: 一液体吐出元件基材,其具有在该基材前侧的一能 量产生元件、和电性连接于该能量产生元件的导 线; 一顶板构件,设于该前侧上,该顶板构件具有一液 体流动路径和形成于其内的该吐出出口; 一底板,支撑该液体吐出元件基材; 其中,藉由形成一嵌入电极电性连接于该导线,然 后从后侧使该基材变薄,以在该基材的该后侧暴露 该嵌入电极,使该液体吐出元件基材在该基材的该 前侧,具有一贯穿式电极。 13.一种喷墨匣,包含: 一喷墨头,该喷墨头包括: 一液体流动路径,连通于用以吐出液体的一吐出出 口; 一能量产生构件,用以产生能量,该能量可用于从 液体流动路径经由该吐出出口吐出该液体; 一电极,用以供给电力于该能量产生元件; 一液体吐出元件基材,其具有在该基材前侧的一能 量产生元件、和电性连接于该能量产生元件的导 线; 一顶板构件,设于该基材的该前侧上,该顶板构件 具有该液体流动路径和该吐出出口; 一底板,支撑该液体吐出元件基材; 其中,藉由形成一嵌入电极电性连接于该导线,然 后从后侧使该基材变薄,以在该基材的该后侧暴露 该嵌入电极,使该液体吐出元件基材在该基材的该 前侧,具有一贯穿式电极; 该喷墨头更包含: 用以容置墨水的一墨水容器,该墨水经由该吐出出 口吐出。 图式简单说明: 图1(a)是本发明第一实施例之液体吐出元件其中一 主要部分的平面视图。 图1(b)是图1(a)所示之液体吐出元件在图1(a)之b-b线 部份的剖视图。 图2是用以显示制造图1所示液体吐出元件之一种( 第一)方法其中一步骤的示意图; 图3是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第一 方法其中一步骤的示意图; 图4是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第一 方法其中一步骤的示意图; 图5是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第一 方法其中一步骤的示意图; 图6是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第二 方法其中一步骤的示意图; 图7是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第二 方法其中一步骤的示意图; 图8是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第二 方法其中一步骤的示意图; 图9是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第二 方法其中一步骤的示意图; 图10是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第三 方法其中一步骤的示意图; 图11是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第三 方法其中一步骤的示意图; 图12是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第三 方法其中一步骤的示意图; 图13是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第三 方法其中一步骤的示意图; 图14是用以显示制造图1所示液体吐出元件之第四 方法其中一步骤的示意图; 图15是本发明应用结果良好之典型喷墨记录设备 的透视图。 |
