| 主权项 |
1.一种加速度感测器,系于具有导电性的筐体内,具 备有:在一方的面具有固定电极的电极基板;介由 用来在与该电极基板之间设置特定的间隔之间隔 件,以与前述固定电极相对向的一方的面作为可动 电极的振动板;以及设置于该振动板的另一方的面 之中央部的重物,依据前述固定电极与前述可动电 极之间的静电电容的变化,检测出彼此互相垂直的 3轴方向之加速度的加速度感测器,其特征在于: 前述固定电极系由:以通过前述重物的重心且与前 述电极基板垂直的第一轴作为中心的环状之第一 固定电极;以及在前述电极基板与前述第一轴的交 点上互相垂直之同时,藉由与前述第一轴垂直的第 二轴及第三轴相对,构成45度的角度之分割轴,各自 分割为二的第二固定电极及第三固定电极所构成, 覆盖前述固定电极的表面,于前述电极基板设置驻 极体层。 2.如申请专利范围第1项之加速度感测器,其中,不 须从前述电极基板的表面突出及陷入,而形成前述 固定电极。 3.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中, 除了以镍或金电镀处理以铜箔形成的前述固定电 极之外,另藉由涂敷、烧成氟树脂的水性分散液, 或黏贴氟系薄膜,形成前述驻极体层。 4.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中, 前述振动板系由:位于周边部,并介由前述间隔件 加以固定的固定部;位于中央部,具备前述重物的 振动部;以及使前述固定部与前述振动部连结的弹 性支持部所构成, 前述弹性支持部系由: 椭圆形状的环; 在前述椭圆形状的长轴上连接前述振动部与前述 环的第1梁;以及 在前述椭圆形状的短轴上连接前述固定部与前述 环的第2梁所构成。 5.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中, 前述振动板系于外周部具备用来电性导通前述筐 体与前述振动板的突起部,并且在前述突起部的内 侧具备有在前述突起部与前述筐体的接线垂直的 线上具有缺口,与前述接线并列之狭幅的狭缝。 6.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中, 前述重物系形成由圆驻状的柄部、及以直径大于 该柄部的大直径构成圆盘状之本体部的伞状,前述 柄部的前端部安装于前述振动板的中心部,于前述 筐体内具备至少与前述柄部或前述本体部中任一 个接触,用来限制前述重物的过度变位之限制构件 。 7.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中, 前述振动板系由SK材、不锈钢、磷青铜、Be-Cu、Ti- Cu中任一个所构成。 图式简单说明: 第1图系与本发明之实施形态有关的加速度感测器 之构成例的第2图之A-A线剖面图。 第2图系第1图之加速度感测器的振动板的形状及 筐体与振动板的接触形态图。 第3图系在第1图之加速度感测器的振动板安装重 物的状态之斜视图。 第4图系设置于第1图之加速度感测器的振动板的 固定电极的配线,(a)为上面图,(b)为(a)的B-B线剖面 图。 第5图系显示第1图之加速度感测器的间隔件之形 状。 |
