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发明名称
SCHIEBERVENTIL FÜR HALBLEITERBEHANDLUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE60030559(D1)
申请公布日期
2006.10.19
申请号
DE20006030559
申请日期
2000.05.30
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
OKA, HIROKI
分类号
F16K3/18;F16K51/02
主分类号
F16K3/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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