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发明名称 VERFAHREN UND BAUELEMENT ZUR VERRINGERUNG VON ELEKTRISCHEN FELDKONZENTRATIONEN IN SOI HALBLEITERKOMPONENTEN
摘要
申请公布号 DE69835825(D1) 申请公布日期 2006.10.19
申请号 DE19986035825 申请日期 1998.03.24
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SJOEDIN, HAKAN;SOEDERBAERG, ANDERS;OEGREN, NILS;HAMBERG, IVAR
分类号 H01L21/76;H01L23/60;H01L21/762;H01L21/763;H01L27/12 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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