METHOD FOR PRODUCING TUBULAR SPUTTER TARGETS, PRODUCED SPUTTER TARGETS AND USE THEREOF

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von rohrförmigen Sputtertargets und besteht darin, dass zunächst ein Hohlzylinder durch heißisostatisches Pressen eines Pulvers oder einer Pulvermischung oder eines vorgepressten Pulverkörpers in einer hermetisch geschlossenen Kapsel hergestellt wird mit einen Innendurchmesser, der um nicht mehr als 10%, bevorzugt nicht mehr als 3%, bezogen auf den Durchmesser des Endproduktes, unter dem Durchmesser des Endproduktes liegt und eine Dichte von mindestens 98%, bevorzugt mindestens 99% der theoretischen Dichte des Ausgangsmaterials aufweist und dass der Hohlzylinder auf Endmass bearbeitet wird.