发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Siliciumoxidhalbleiterfilms
摘要
申请公布号 DE4408791(B4) 申请公布日期 2006.10.19
申请号 DE19944408791 申请日期 1994.03.15
申请人 FUJI ELECTRIC CO. LTD. 发明人 SICHANUGRIST, PORPONTH
分类号 H01L21/205;H01L31/20;H01L31/0232;H01L31/0376;H01L31/0392;H01L31/04;H01L31/075 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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