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发明名称 SELF-BALANCING THERMAL CONTROL DEVICE FOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 KR100636866(B1) 申请公布日期 2006.10.19
申请号 KR20007007597 申请日期 2000.07.10
申请人 发明人
分类号 H01L23/36 主分类号 H01L23/36
代理机构 代理人
主权项
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