| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10052419(B4) |
申请公布日期 |
2006.10.19 |
| 申请号 |
DE20001052419 |
申请日期 |
2000.10.23 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
MARKSTEINER, STEPHAN;AIGNER, ROBERT |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;B81B7/00;G01L9/12;G02B6/00;H01L21/76;H01L23/24;H01L23/525 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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