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发明名称 Verarbeitungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69736636(D1) 申请公布日期 2006.10.19
申请号 DE1997636636 申请日期 1997.10.23
申请人 SHIBAURA MECHATRONICS CORP. 发明人 MIYASAKO, HISAAKI
分类号 H01L21/00;H01L21/677;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/304 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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