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发明名称 Hermetisch abgeschlossener Sensor mit beweglicher Mikrostruktur
摘要
申请公布号 DE69736630(D1) 申请公布日期 2006.10.19
申请号 DE19976036630 申请日期 1997.06.19
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA 发明人 MURARI, BRUNO;VIGNA, BENEDETTO;FERRARI, PAOLO
分类号 G01B7/00;G01P15/08;G01C19/00;G01P1/02;G01P9/04;H01L29/84 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
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