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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR RECYCLING THE DISPOSED SLUDGE PRODUCED IN THE MANUFACTURING PROCESS OF THE SILICON WAFER
摘要
申请公布号
KR100636335(B1)
申请公布日期
2006.10.19
申请号
KR20040098661
申请日期
2004.11.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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