| 发明名称 | 静电卡盘安装拆卸工具 | ||
| 摘要 | 本发明涉及静电卡盘安装拆卸工具，包括固定支撑部件和安装在固定支撑部件上的安装运动部件，所述固定支撑部件包括支撑板和等距安装在支撑板上的四个支撑杆，所述安装运动部件包括静电卡盘安装架，在静电卡盘安装架的中心连接有具有螺杆的旋转手柄，所述螺杆穿过支撑板并与支撑板通过螺纹连接。该工具结构简单，使用安全可靠，操作人员只需经过简单培训即可进行静电卡盘的安装拆卸，静电卡盘安装拆卸过程中可有效控制颗粒污染程度，提高了静电卡盘的安装拆卸稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN1848402A | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN200510126277.X | 申请日期 | 2005.12.02 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 彭宇霖 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 司君智 |
| 主权项 | 1.静电卡盘安装拆卸工具，其特征是包括固定支撑部件和安装在固定支撑部件上的安装运动部件，所述固定支撑部件包括支撑板(5)和等距安装在支撑板(5)上的支撑杆(4)，所述安装运动部件包括静电卡盘安装架(6)，在安装架(6)的中心连接有具有螺杆(9)的旋转手柄(3)，所述螺杆(9)穿过支撑板(5)并与支撑板(5)通过螺纹连接。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||