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发明名称 method and apparatus for temperature measuring of substrate in a semiconductor fabricating
摘要
申请公布号 KR100636016(B1) 申请公布日期 2006.10.18
申请号 KR20000065579 申请日期 2000.11.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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