| 发明名称 | 微机电系统型共振器、其制造方法以及通讯装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种MEMS型共振器及其制造方法，其中制造MEMS时在湿工艺中梁到衬底的吸附被防止，且运行时所需振动模式之外的不需要的其它振动模式不被混合。此外，提供包括具有所述MEMS型共振器的滤波器的通讯装置。所述MEMS型共振器包括其中形成有下电极的衬底和形成在该衬底上的梁，其中至少一个支承柱设置在该衬底与该梁之间。该通讯装置包括上述MEMS型共振器的滤波器作为滤波器。 | ||
| 申请公布号 | CN1849747A | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN200480026399.5 | 申请日期 | 2004.07.21 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 难波田康治 |
| 分类号 | H03H9/24(2006.01);B81B3/00(2006.01);B81C1/00(2006.01) | 主分类号 | H03H9/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
| 主权项 | 1.一种MEMS型共振器，包括：衬底，其中形成有下电极；以及梁，其形成在所述衬底上，其中至少一个支承柱设置在所述衬底与所述梁之间。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||