发明名称 ADAMANTYL MONOMERS AND POLYMERS FOR LOW-K-DIELECTRIC APPLICATIONS
摘要
申请公布号 EP1711550(A1) 申请公布日期 2006.10.18
申请号 EP20040805194 申请日期 2004.12.23
申请人 SILECS OY 发明人 PAULASAARI, JYRI;RANTALA, JUHA
分类号 C08G77/02;C01B33/12;C07C53/138;C07C57/28;C07F7/12;C07F7/18;C08G77/20;C09D183/04;H01L21/31;H01L21/312 主分类号 C08G77/02
代理机构 代理人
主权项
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