| 发明名称 | 发光元件的制造方法、半导体激光器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种沿衬底的垂直方向发射光的表面发光型发光元件的制造方法，包括以下工序(a)～(e)：(a)腐蚀多层膜的至少一部分来形成柱状部的工序，(b)形成覆盖柱状部的第1树脂层的工序，(c)改变第1树脂层相对于液体中的溶解度来形成第2树脂层的工序，(d)在溶解第2树脂层的液体中，至少将柱状部和第2树脂层浸渍规定时间，在第2树脂层中至少除去在柱状部上形成的部分的工序，(e)使第2树脂层固化来形成绝缘层的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN1848564A | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN200610077337.8 | 申请日期 | 2002.03.09 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 近藤贵幸 |
| 分类号 | H01S5/18(2006.01);H01S5/183(2006.01);H01S5/00(2006.01);H01L33/00(2006.01) | 主分类号 | H01S5/18(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 浦柏明;王忠忠 |
| 主权项 | 1.一种表面发光型半导体激光器，在半导体衬底上形成谐振器，沿所述半导体衬底的垂直方向发射光，该表面发光型半导体激光器包括：构成所述谐振器的至少一部分的柱状部；以及覆盖所述柱状部侧面的绝缘层；所述绝缘层包含填料。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||