METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING OPTICAL CHARACTERISTICS OF THIN FILMS IN A DEPOSITION PROCESS,申请号EP20050722465-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING OPTICAL CHARACTERISTICS OF THIN FILMS IN A DEPOSITION PROCESS
摘要
申请公布号	EP1711645(A1)	申请公布日期	2006.10.18
申请号	EP20050722465	申请日期	2005.01.18
申请人	DEPOSITION SCIENCES, INC.	发明人	STERNBERGH, JAMES;KRISL, ERIC, M.;BOLING, NORM
分类号	C23C14/34;B05C11/00;B05D1/00;C23C14/32;C23C14/54;G01B11/06;G01N33/00	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
地址