微机械式三轴角速率传感器

摘要

本实用新型涉及一种可对旋转物体三个轴向角速率进行测量的传感器，包括X、Y、Z三个空间轴角速率传感器，每个传感器均由ST自检测接口电路、敏感元件电路、电荷泵升压电路、解调滤波电路和输出放大电路组成，自检测接口和电荷泵电路的输出端分别接至敏感元件电路的输入端，敏感元件电路的输出端通过解调滤波电路接至输出放大电路。角速率传感器根据谐振器陀螺原理工作，以MEMS技术芯片构成的敏感元件接收物体有角速率时产生的科里奥运动并产生电信号，该电信号经解调滤波电路和输出放大电路后，进而输出正比于角速率的模拟信号至相应的微处理器。产品具有结构合理、操作方便、体积小、造价低等优点，可广泛用于惯性测量、飞行器稳定控制、捷联惯导等领域。

主权项

1、一种微机械式三轴角速率传感器，包括三个分别用于测量X、Y、Z空间轴角速率的传感器(1、2、3)以及三个通过各自A/D转换器(4、5、6)分别与三个空间轴角速率传感器(1、2、3)输出端连接的微处理器(7、8、9)，三个微处理器(7、8、9)的输出端接在一个RS232/RS422/RS485接口电路(10)的输入端上，其特征在于每个空间轴角速率传感器均由采用MEMS技术芯片的ST自检测接口电路(11)、敏感元件电路(12)、电荷泵升压电路(13)、解调滤波电路(14)和输出放大电路(15)组成，ST自检测接口电路(11)和电荷泵升压电路(13)的输出端分别接至敏感元件电路(12)的输入端，敏感元件电路(12)的输出端通过解调滤波电路(14)与输出放大电路(15)的输入端联接。