| 发明名称 | 感光化合物，感光树脂，和感光组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供含有叠氮基团适于在短波长光下曝光的感光化合物；包含感光化合物的感光树脂；和包含感光化合物或感光树脂的感光组合物。该感光化合物包含由通式(1)表示的感光单元：其中R选自如下基团，右中式X选自如下基团，右下式和每个Y和Z表示氢原子、烷基、含缩醛基团的烷基、芳基、芳烷基、或包含碱形成氮原子的取代基，其中R和X的至少一个包含叠氮基。 | ||
| 申请公布号 | CN1280672C | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN03108358.7 | 申请日期 | 2003.03.28 |
| 申请人 | 东洋合成工业株式会社 | 发明人 | 涩谷彻;栗原正宪;竹田美音子;山田一雄 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/038(2006.01);G03F7/00(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 邓毅 |
| 主权项 | 1.一种感光化合物，其特征在于，所述感光化合物包括由通式(1)表示的感光单元且在R和X中具有至少一个叠氮基：<img file="C031083580002C1.GIF" wi="706" he="316" />其中R选自如下基团，<img file="C031083580002C2.GIF" wi="1606" he="458" />X选自如下基团，<img file="C031083580002C3.GIF" wi="1340" he="416" />和每个Y和Z表示氢原子、烷基、含缩醛基团的烷基、芳基、芳烷基、或包含碱形成氮原子的取代基。 | ||
| 地址 | 日本千叶县 | ||