| 发明名称 | 灯组件和衬底处理室 | ||
| 摘要 | 一种用于衬底(164)处理室(132)的灯组件(20)，包括具有第一端(32)和第二端(36)的管状体(24)、至少部分地安放于所述第一端(32)中具有灯丝(56)和第一电连接器(92)的灯元件(48)、安装到所述第一电连接器(92)的传输导线(80)、以及相对于所述管状体(24)的所述第二端(36)柔性地定位具有安装到所述传输导线(80)的第二电连接器(92)的刚性插头(88)。 | ||
| 申请公布号 | CN2829269Y | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN200520110817.0 | 申请日期 | 2005.06.27 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 约瑟夫·拉尼什;阿比吉特·德赛;阿波罗·哈韦林德 |
| 分类号 | H05B3/00(2006.01);H05B3/06(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H05B3/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 肖善强 |
| 主权项 | 1.一种灯组件，所述灯组件用于衬底处理室，并包括：(a)管状体，具有在第一端和第二端的开口；(b)灯元件，安放于所述管状体的所述第一端的所述开口中，所述灯元件具有灯丝以及第一电连接器；(c)传输导线，连接到所述第一电连接器；以及(d)刚性插头，柔性地定位在所述管状体的所述第二端，所述刚性插头包括安装到所述传输导线的第二电连接器。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||