发明名称 半导体器件以及制造半导体器件的方法
摘要 一种半导体器件,包括半导体主体,其包含具有第一晶向的半导体材料。第一晶体管在具有第一晶向的半导体材料中形成。绝缘层覆盖半导体主体的部分并且半导体层覆盖绝缘层。该半导体层具有第二晶向。第二晶体管在具有第二晶向的半导体层中形成。在优选实施方案中,半导体主体是(100)硅,第一晶体管是NMOS晶体管,半导体层是(110)硅并且第二晶体管是PMOS晶体管。
申请公布号 CN1848431A 申请公布日期 2006.10.18
申请号 CN200610002411.X 申请日期 2006.01.27
申请人 国际商业机器公司;英芬能技术北美公司 发明人 宋均镛;阎江;丹尼·P-C.·舒姆;阿洛艾斯·古特曼
分类号 H01L27/02(2006.01);H01L21/82(2006.01) 主分类号 H01L27/02(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 秦晨
主权项 1.一种半导体器件,包括:半导体主体,包含具有第一晶向的半导体材料;第一晶体管,在具有第一晶向的半导体材料中形成;绝缘层,覆盖半导体主体的多个部分;覆盖绝缘层的半导体层,该半导体层具有第二晶向;外延生长的半导体区域,覆盖半导体层;以及第二晶体管,在具有第二晶向的外延生长半导体区域中形成。
地址 美国纽约