真空夹具

摘要

一种真空夹持装置，包括基座部件(1)和分离的工件支撑件(8)，两者相互配合界定了一真空室。该装置进一步包括一文丘里管(15)，其具有连接到压缩流体源的进口端(7)，用于来自文丘里管的流体出口(9)，以及从文丘里管(15)的低压区到真空室内部的流体连接部分(19，5)，用于给其中提供部分真空。该部分真空会将基座部件(1)和工件支撑件(8)固定在一起以维持其间的周边密封。工件支撑件(8)具有固定装置，用于固定其上的工件(10)。本发明也提供一种真空夹持系统，包括基座部件(1)和多个可相互交换的工件支撑件(8)。

主权项

1.一种真空夹持装置，包括一基座部件和一分离的工件支撑件，两者相互配合界定了一真空室，和包括一文丘里管，其具有连接到压缩流体源的一进口端，一用于来自所述文丘里管的流体出口，以及从所述文丘里管的低压区到所述真空室内部的一流体连接部分，用于给其中提供部分真空，所述部分真空会将所述基座部分和所述工件支撑件固定在一起以维持两者之间的周边密封；其中所述工件支撑件具有固定装置，用于固定其上的工件。