发明名称 |
集成电路载板的制造方法 |
摘要 |
本发明是关于一种集成电路载板的制造方法,包含有以下步骤:(a)将一四方载板本体正面施以光罩半蚀刻方式,由上而下形成一预定深度及面积的填塞空间;(b)将步骤(a)完成的该载板本体容置于与该载板本体形状契合的一模具的模穴中,并施以一抽真空作业,接着施行灌注绝缘胶及模压动作,以使该绝缘胶填满该填塞空间;(c)将步骤(b)完成的该载板本体从该模穴中取出,并进行反面的光罩半蚀刻,而完成一集成电路载板。 |
申请公布号 |
CN1848393A |
申请公布日期 |
2006.10.18 |
申请号 |
CN200510065760.1 |
申请日期 |
2005.04.14 |
申请人 |
菱生精密工业股份有限公司 |
发明人 |
杨席珍 |
分类号 |
H01L21/48(2006.01);H01L23/12(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/48(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1.一种集成电路载板的制造方法,其特征在于,包含有以下步骤:(a)将一四方载板本体正面施以光罩半蚀刻方式,由上而下形成一预定深度及面积的填塞空间;(b)将步骤(a)完成的该载板本体容置于与该载板本体形状契合的一模具的模穴中,并施行充填一绝缘胶及模压动作,以使该绝缘胶填满该填塞空间;(c)将步骤(b)完成的该载板本体从该模穴中取出,并进行反面的光罩半蚀刻,而完成一集成电路载板。 |
地址 |
台湾省台中县 |