发明名称 集成电路载板的制造方法
摘要 本发明是关于一种集成电路载板的制造方法,包含有以下步骤:(a)将一四方载板本体正面施以光罩半蚀刻方式,由上而下形成一预定深度及面积的填塞空间;(b)将步骤(a)完成的该载板本体容置于与该载板本体形状契合的一模具的模穴中,并施以一抽真空作业,接着施行灌注绝缘胶及模压动作,以使该绝缘胶填满该填塞空间;(c)将步骤(b)完成的该载板本体从该模穴中取出,并进行反面的光罩半蚀刻,而完成一集成电路载板。
申请公布号 CN1848393A 申请公布日期 2006.10.18
申请号 CN200510065760.1 申请日期 2005.04.14
申请人 菱生精密工业股份有限公司 发明人 杨席珍
分类号 H01L21/48(2006.01);H01L23/12(2006.01) 主分类号 H01L21/48(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1.一种集成电路载板的制造方法,其特征在于,包含有以下步骤:(a)将一四方载板本体正面施以光罩半蚀刻方式,由上而下形成一预定深度及面积的填塞空间;(b)将步骤(a)完成的该载板本体容置于与该载板本体形状契合的一模具的模穴中,并施行充填一绝缘胶及模压动作,以使该绝缘胶填满该填塞空间;(c)将步骤(b)完成的该载板本体从该模穴中取出,并进行反面的光罩半蚀刻,而完成一集成电路载板。
地址 台湾省台中县