发明名称 双色铟镓砷红外探测器及其制备方法和应用
摘要 本发明涉及一种双色铟镓砷(InGaAs)红外探测器,是在铟磷((InP)衬底上依次生长有In<SUB>X</SUB>Ga<SUB>1-X</SUB>As材料的适合探测3- 5μm红外线波的光导层、绝缘层,适合探测1-3μm红外线波的PIN结构的InGaAs材料层。所述的红外探测器的制备方法是用金属有机气相淀积技术在InP衬底上生长InGaAs材料,制备一种对1-3μm、3-5μm两个波段同时探测的红外外延片,再用该外延片制造两个波段的红外探测器。该红外探测器可以用于制备多方向测量红外信号器件。
申请公布号 CN1848460A 申请公布日期 2006.10.18
申请号 CN200610034286.0 申请日期 2006.03.15
申请人 华南师范大学 发明人 孙慧卿;范广涵;郭志友
分类号 H01L31/08(2006.01);H01L31/18(2006.01) 主分类号 H01L31/08(2006.01)
代理机构 广州粤高专利代理有限公司 代理人 何淑珍
主权项 1、一种双色铟镓砷(InGaAs)红外探测器,其特征在于在铟磷((InP)衬底上依次生长有InxGa1-xAs材料的适合探测3-5μm红外线波的光导层、绝缘层,适合探测1-3μm红外线波的PIN结构的InGaAs材料层。
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