发明名称 |
双色铟镓砷红外探测器及其制备方法和应用 |
摘要 |
本发明涉及一种双色铟镓砷(InGaAs)红外探测器,是在铟磷((InP)衬底上依次生长有In<SUB>X</SUB>Ga<SUB>1-X</SUB>As材料的适合探测3- 5μm红外线波的光导层、绝缘层,适合探测1-3μm红外线波的PIN结构的InGaAs材料层。所述的红外探测器的制备方法是用金属有机气相淀积技术在InP衬底上生长InGaAs材料,制备一种对1-3μm、3-5μm两个波段同时探测的红外外延片,再用该外延片制造两个波段的红外探测器。该红外探测器可以用于制备多方向测量红外信号器件。 |
申请公布号 |
CN1848460A |
申请公布日期 |
2006.10.18 |
申请号 |
CN200610034286.0 |
申请日期 |
2006.03.15 |
申请人 |
华南师范大学 |
发明人 |
孙慧卿;范广涵;郭志友 |
分类号 |
H01L31/08(2006.01);H01L31/18(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/08(2006.01) |
代理机构 |
广州粤高专利代理有限公司 |
代理人 |
何淑珍 |
主权项 |
1、一种双色铟镓砷(InGaAs)红外探测器,其特征在于在铟磷((InP)衬底上依次生长有InxGa1-xAs材料的适合探测3-5μm红外线波的光导层、绝缘层,适合探测1-3μm红外线波的PIN结构的InGaAs材料层。 |
地址 |
510630广东省广州市天河区石牌 |