| 发明名称 | 用于MEMS制造的薄膜先驱堆叠 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于产生MEMS(Micro－electromechanical systems)装置的先驱薄膜堆叠(precursorfilmstack)。所述先驱薄膜堆叠包含：一载体基板、一形成于所述载体基板上的第一层、一形成于所述第一层上的一绝缘体材料的第二层和一形成于所述第二层上的一牺牲材料的第三层。 | ||
| 申请公布号 | CN1849547A | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN200480020729.X | 申请日期 | 2004.06.23 |
| 申请人 | IDC公司 | 发明人 | 马克·W·迈尔斯;布莱恩·J·加利;克拉伦斯·徐 |
| 分类号 | G02B26/00(2006.01) | 主分类号 | G02B26/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方;刘国伟 |
| 主权项 | 1.一种制造一MEMS装置的方法，所述方法包含：加工一预先制造的薄膜堆叠以界定所述MEMS装置。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||